xd激光干涉儀
XD激光干涉儀
1D激光主要可以測量定位誤差和重復(fù)定位精度
3D激光可以測量定位誤差、直線度誤差(雙向)
5D/6D激光可以測量定位誤差、直線度誤差(雙向)、偏擺角、俯仰角和滾動角
在選擇無線遙控傳感器的情況下,長的測量距離可到45米(80米可選)。
可測量速度、加速度、振動等參數(shù),并評估機床動態(tài)特性。
設(shè)計緊湊、體積小,測量機床時不需三角架。集成干涉鏡與激光器于一體,簡化了調(diào)整步驟,減少了調(diào)整時間
5D/6D激光干涉儀是API的**產(chǎn)品,一次安裝能夠同時測量線性軸的六個誤差,包括1個位置度誤差、2個直線度誤差、3個角度誤差。在通常情況下需要數(shù)天時間進行的測試,使用API激光干涉儀只需幾個小時即可完成,實際應(yīng)用結(jié)果表明,節(jié)省時間可達80%。該儀器體積小,重量輕,可以直接安裝到機床導(dǎo)軌上。
測量儀配有自動氣壓、環(huán)境溫度補償器,自動校正環(huán)境變化對激光波長及長度測量的影響,測量儀還配有專門設(shè)計的多重數(shù)字濾波器,使由空氣波動及溫度梯度引起的測量誤差降到小。
概述
5D/6D激光干涉儀是API的產(chǎn)品,一次安裝能夠同時測量線性軸的六個誤差,包括1個位置度誤差、2個直線度誤差、3個角度誤差。在通常情況下需要數(shù)天時間進行的測試,使用API激光干涉儀只需幾個小時即可完成,實際應(yīng)用結(jié)果表明,節(jié)省時間可達80%。
該儀器體積小,重量輕,可以直接安裝到機床導(dǎo)軌上。6D激光干涉儀主要由穩(wěn)頻激光器、干涉儀和6維傳感器組成,從激光器發(fā)出的激光光束經(jīng)過干涉后,被6D傳感器內(nèi)的分光鏡分成三束,一束光經(jīng)錐角反射棱鏡反向后返回干涉儀與參考光束相干產(chǎn)生干涉條紋,經(jīng)光學(xué)相位探測器識別后進行電子記數(shù),記錄***長度位移。第二束光用作直線度測量的參考光束,傳感器與參考光束之間的相對位移由裝在傳感器內(nèi)的橫向疚光電二級管測得。第三束光用作裝在6D傳感器內(nèi)的小型光電測角儀的參考光源,用來測量角度誤差(俯仰角和偏擺角)。
為了保證激光光束的穩(wěn)定性,測量儀在結(jié)構(gòu)的設(shè)計以及激光器的選擇方面都做了仔細周密的考慮,以使測量儀的橫向和角度漂移量都降低到很小,從而保證測量儀的長期穩(wěn)定性。測量儀配有自動氣壓、環(huán)境溫度補償器,自動校正環(huán)境變化對激光波長及長度測量的影響,測量儀還配有專門設(shè)計的多重數(shù)字濾波器,使由空氣波動及溫度梯度引起的測量誤差降到非常小。
主要特點
1. 同時測量線性定位誤差、直線度誤差(雙軸)、偏擺角、俯仰角和滾動角
2. 設(shè)計用于安裝在機床主軸上的5D/6D傳感器
3. 可選的無線遙控傳感器很長的控制距離可到25米
4. 可測量速度、加速度、振動等參數(shù),并評估機床動態(tài)特性
5. 全套系統(tǒng)重量僅15公斤,設(shè)計緊湊、體積小,測量機床時不需三角架
6. 集成干涉鏡與激光器于一體,簡化了調(diào)整步驟,減少了調(diào)整時間
5D/6D標準型:
1. 線性:0.5ppm
2. 測量范圍:40米(1D可選80米)
3. 偏擺角和俯仰角的精度:(1.0+0.1/m)角秒或1%顯示較大值
4. 范圍:800角秒
5. 滾動角精度:1.0角秒
6. 直線度精度:(1.0+0.2/m)um或1%顯示較大值
7. 范圍:500um
8. 垂直度精度:1角秒
9. 溫度:0.2攝氏度
10.濕度:5%
11.壓力:1mmHg
5D/6D精密型:
1. 線性:0.2ppm
2. 測量范圍:25米
3. 偏擺角和俯仰角的精度:(0.5+0.05/m)角秒或1%顯示較大值
4. 范圍:400角秒
5. 滾動角精度:0.5角秒
6. 直線度精度:(0.5+0.1/m)um或1%顯示較大值
7. 范圍:300um
8. 垂直度精度:0.5角秒
9. 溫度:0.1攝氏度
10.濕度:3%
11.壓力:0.3mmHg
5D/6D高精密型:
1. 線性:0.2ppm
2. 測量范圍:根據(jù)用戶要求而定
3. 偏擺角和俯仰角的精度:(0.2+0.02/m)角秒
4. 范圍:500角秒
5. 滾動角精度:0.5角秒
6. 直線度精度:(0.2+0.05/m)um
7. 范圍:100um
8. 垂直度精度:0.5角秒
9. 溫度:0.1攝氏度
10.濕度:3%
11.壓力:0.3mmHg