API Xd激光干涉儀(測量六項誤差參數(shù))
Xd激光干涉儀是wei一一個可以在一次設置中同時測量所有6個誤差參數(shù)的評估系統(tǒng)。一次安裝能夠同時測量線性軸的六個誤差,包括1個位置度誤差、2個直線度誤差、3個角度誤差。在通常情況下需要數(shù)天時間進行的測試,使用API激光干涉儀只需幾個小時即可完成,實際應用結果表明,節(jié)省時間可達80%。該儀器體積小,重量輕,可以直接安裝到機床導軌上。
主要特點:
1. 同時測量線性定位誤差、直線度誤差(雙軸)、偏擺角、俯仰角和滾動角
2. 設計用于安裝在機床主軸上的5D/6D傳感器
3. 可選的無線遙控傳感器長的控制距離可到25米
4. 可測量速度、加速度、振動等參數(shù),并評估機床動態(tài)特性。
5. 全套系統(tǒng)重量僅15公斤,設計緊湊、體積小,測量機床時不需三角架
6. 集成干涉鏡與激光器于一體,簡化了調整步驟,減少了調整時間
準確的數(shù)據采集:
實時的誤差測量確保了數(shù)據采集的正正確性以及高精度的誤差分析自動的數(shù)據采集技術,簡化了數(shù)據采集的過程。
激光器發(fā)射單一頻率光束射入線性干涉鏡,然后分成兩道光束,一道光束(參考光束)射向連接分光鏡的反射鏡,而第二道透射光束(測量光束)則通過分光鏡射入第二個反射鏡,這兩道光束再反射回到分光鏡,重新匯聚之后返回激光器,其中會有一個探測器監(jiān)控兩道光束之間的干涉(見圖)。若光程差沒有變化時,探測器會在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩(wěn)定的信號。
若光程差有變化時,探測器會在每一次光程變化時,在相長性和相消性干涉的兩極之間找到變化信號,這些變化會被計算并用來測量兩個光程之間的差異變化。
應用:
XD Laser被來自世界名地的API用戶用于:
、CMMICNC的校準、補償
、機床導軌平行度的測量
、旋轉額的測量
、垂直度的測量
、對角線的測量
、CNC反饋
、機器人位置反饋
API XD干涉儀線性定位誤差的測量方法:
¾ 一次安裝也可同時測量其它五個參數(shù);
¾ 可利用電腦中的直線度實時顯示,
數(shù)字化去除余弦差,測量準確;
¾ 兩點調光,對光迅速
直線度測量— API XD的方法
應用良好的PSD技術:光電位置敏感檢測器。它可將光敏面上的光點位置轉化為電信號)
¾ 不怕斷光,可用于導軌的安裝調試(類似于自準直儀)
¾ 對直線度進行1:1的測量
¾ 可一次性安裝, 與線性誤差一起測量, 方便, 快速
垂直度測量— API XD的方法
¾ API XD激光干涉儀是通過PSD技術1:1進行直線度測量的,所以API干涉儀測兩軸垂直度時只需一個五角棱鏡既可,無需其他鏡組. 裝/調非常方便快速
¾ 在測兩軸的垂直度的同時,兩軸各自的線性定位誤差、直線度,偏擺角、俯仰角都可一次測出,大大節(jié)省了測量所占用機床的時間,也可避免人為差錯。
偏擺角/俯仰角測量 — API XD的方法
¾ 良好的PSD技術來測量小角度: 當入射光經分光鏡射到凸透鏡上后,如果軸無角度變化,則光線經透鏡聚在焦點上;如果軸有角度變化,則光線會在焦平面上的PSD光靶上得到兩個方向的坐標值,從而與焦距比較得出角度值。
¾ 測量角度過程中不怕斷光, 可用于導軌的安裝調試
¾ 不受滾動角的影響,調整光路容易